微量型超純水系統是一種用于制備超純水的設備，其產水水質較高，適用于對水質要求較為嚴格的場合。

　　微量型超純水系統的工作原理主要基于物理過濾、膜分離和離子交換等技術，通常采用多級處理工藝，主要包括預處理、反滲透、離子交換和終端處理四個主要階段：

　　預處理：去除水中的大顆粒、懸浮物和部分有機物，為后續處理打下基礎。常見的預處理系統由石英砂過濾器、活性碳過濾器和精密過濾器組成。當原水中硬度較高時，還會使用全自動軟水器來降低水的硬度，以保護后續的反滲透膜。

　　反滲透：利用反滲透膜去除水中的大部分離子物質和大分子物質，提高水的純度。反滲透膜的孔徑極小，能高效截留細菌、病毒、重金屬及有機物，脫鹽率通常≥98%。

　　離子交換：進一步去除水中的微量離子，使水質達到更高的純度。其原理是利用陽離子交換樹脂去除水中的陽離子并釋放H+，陰離子交換樹脂去除陰離子并釋放OH-，結合生成純水。

　　終端處理：通過超濾、紫外線殺菌等技術，去除水中的微生物、有機物等殘留雜質，確保超純水的質量。

　　該設備能產出電阻率達到 18.2MΩ?cm 以上的超純水，金屬離子含量可低至 ppb 甚至 ppt 級別，TOC 含量也極低，還能有效去除微生物、熱源等雜質。采用模塊化設計，濾柱等耗材更換便捷，且具有耗材壽命管理功能，可實時顯示耗材使用狀態，提醒用戶及時更換。